GB51343-2018真空电子器件生产线设备安装技术标准
GB51343-2018真空电子器件生产线设备安装技术标准
强制性条文
5.1.4 表面处理工艺使用腐蚀性化学品区域应设置紧急冲身洗眼器。 5.2.5 用氢场所应设置机械通风装置和事故排风装置；应设置气体泄漏报警装置，并与事故排风装置联锁。 5.4.3 高压老炼和测试场所应设置紧急制动装置和门机联锁装置。
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